Процесс переноса изображения с маски на фоточувствительный слой на кремниевой пластине при изготовлении чипов балансирует между качеством и скоростью нанесения рисунка. Ускорить его можно либо повысив мощность излучения, с чем есть проблемы, либо повысив чувствительность фоторезиста, с чем тоже всё не очень хорошо. Исследователи из бельгийского Imec нашли неожиданный вариант по ускорению процесса, который до сих пор почему-то не рассматривался.

Обзор смартфона Sony Xperia 1 VII: на последнем дыхании



Обзор сервера iRU Rock G2212IG6 на базе Intel Xeon 6



Обзор ноутбука HONOR MagicBook X16 2026: как раньше, только лучше



Обзор ИБП Ippon NUT 1050



Обзор смартфона realme C85 Pro: непотопляемый



Обзор и тестирование моноблока iRU 23ID: стильный, быстрый и тихий

Источник изображения: Imec

В современном техпроцессе пластина после экспонирования сканером переносится в бокс для отжига и так называемой послеэкспозиционной обработки. Это происходит в чистой комнате при обычном давлении и естественной атмосферной среде, содержание кислорода в которой соответствует типичному для Земли уровню примерно на уровне моря — около 21 %. В Imec создали специальный герметичный бокс с массой датчиков среды и материалов, который позволял проводить отжиг и послеэкспозиционную обработку при разном соотношении газов, а также давал возможность получать характеристики фоторезиста на всех этапах производства.

Ключевым открытием стало то, что повышение концентрации кислорода в атмосфере до 50 % во время процесса ускоряет фоточувствительность фоторезиста на 15–20 %, позволяя достигать целевых размеров структур при меньшей дозе EUV-излучения. Иначе говоря, перенести рисунок микросхемы с маски на фоторезист можно либо быстрее, либо с меньшими энергозатратами — и это не ухудшит детализацию и качество линий.

Бельгийские исследователи выяснили, что увеличение содержания кислорода стимулирует химические реакции в экспонированных участках металл-оксидных фоторезистов (metal-oxide resists, MOR), которые считаются перспективными материалами для EUV-проекции с низкой и, особенно, с высокой числовой апертурой. Тем самым относительно простыми средствами можно увеличить производительность EUV-сканеров и линий по выпуску наиболее передовых чипов, не меняя сами сканеры. Безусловно, для этого придётся создать новые условия для обработки пластин со всеми сопутствующими расходами. Возможно, производители заинтересуются этим «лайфхаком», но пока это неизвестно.

На данный момент Anthropic остаётся единственной компанией, чья ИИ-модель Claude одобрена Министерством обороны США для работы с секретными ведомственными системами. Несогласие Anthropic предоставить этому ведомству право неограниченного использования своих разработок привело к тому, что Пентагон поместил...

Драма, которая развивалась вокруг несогласия руководства Anthropic с бесконтрольным использованием ИИ американскими военными, получила новый этап развития вечером в пятницу, когда глава OpenAI Сэм Альтман (Sam Altman) подтвердил достижение договорённости с Пентагоном об адаптации решений этой компании...

Xiaomi заняла 18 % глобального рынка носимой электроники по итогам 2025 года, что позволило китайской компании вернуть лидерство в этом сегменте. Следом за ней разместились Apple и Huawei, занявшие 17 % и 16 % рынка соответственно. Замыкают первую пятёрку Samsung (9 %) и Garmin (5 %). Такие данные опубликовала...

Высшие должностные лица США не раз заявляли, что повторная высадка на Луне Китая раньше США станет для них геополитической катастрофой. В то же время выполнение программы NASA «Артемида» (Artemis) шло таким образом, что США рисковали не успеть. Программа требовала радикальных изменений, и накануне NASA...

Мы внесли изменения в расчёт Индекса качества сайта (ИКС) — показателя, который помогает оценить, насколько ресурс полезен для пользователей. 

Рассказываем, что поменялось и где теперь смотреть данные....

[/b]

Команда специалистов IBM и института RIKEN (Япония) достигла важной вехи в развитии синтеза квантовых и суперкомпьютерных расчётов (Quantum-Centric Supercomputing, QCSC). Исследователям удалось впервые создать замкнутый цикл вычислений, в котором размещённые рядом квантовый вычислитель и суперкомпьютер...

Генеральный директор Apple Тим Кук (Tim Cook) рассказал, что «спал с одним открытым глазом» после посещения секретного брифинга ЦРУ по Тайваню. На этом брифинге разведывательные агентства озвучили опасения о возможном вторжении Китая на остров. Администрация США неоднократно (и безуспешно) пыталась убедить Apple закупать чипы в США и Южной Корее, а не у компании TSMC, расположенной на Тайване.

Итоги 2025-го: ИИ-лихорадка, рыночные войны, конец эпохи Windows 10 и ещё 12 главных событий года



Обзор игрового QD-OLED WQHD-монитора Gigabyte AORUS FO27Q5P: на пределе возможностей



Обзор телевизора Sber SDX-43U4169



Обзор игрового 4K IPS-монитора Gigabyte M27UP: разнообразия ради



Итоги 2025 года: почему память стала роскошью и что будет дальше



Обзор ноутбука TECNO MEGABOOK S14 (S14MM): OLED с HDR как новая норма

Источник изображения: unsplash.com

Китай открыто заявляет о своих правах на Тайвань и не раз проводил военные учения, имитировавшие полномасштабную блокаду острова, что вызвало у мировой общественности обоснованные опасения по поводу планов вторжения на остров. Эти опасения особенно усилились в 2023 году, что привело к специальному секретному брифингу ЦРУ, о котором стало известно только сейчас.

В июле 2023 года Тим Кук, глава Nvidia Дженсен Хуанг (Jensen Huang) и руководитель AMD Лиза Су (Lisa Su) были приглашены в защищённую комнату для брифингов в Кремниевой долине. Генеральный директор Qualcomm Кристиано Амон (Cristiano Amon) участвовал в брифинге по видеосвязи. С докладом выступили глава Центрального разведывательного управления Уильям Дж. Бернс (William J. Burns) и директор национальной разведки Эврил Хейнс (Avril Haines). Они официально сообщили участникам совещания, что увеличивающиеся военные расходы Китая свидетельствуют о возможном вторжении на Тайвань в 2027 году.

По мнению аналитиков американских разведслужб, перспектива вторжения Китая на Тайвань и захвата контроля над TSMC вполне реальна. Опасаясь подобного сценария, компания даже разработала планы по удалённому отключению своего оборудования для изготовления чипов.

Проблема для Apple заключается в том, что все самые передовые фабрики TSMC расположены именно на Тайване. Производственные мощности компании разбросаны по всему миру, включая заводы в Аризоне, но они не обеспечивают самых продвинутых техпроцессов, необходимых для новейших продуктов Apple.

Twitch объявил о пересмотре системы наказаний за нарушение правил сообщества. Платформа отказывается от прежнего подхода, при котором любая временная блокировка полностью отрезала пользователя от сервиса, включая просмотр стримов, общение в чатах и доступ к панели управления аккаунтом.

...

До сих пор о попытках китайских компаний освоить техпроцессы тоньше 7 нм было известно разве что по слухам о сотрудничестве SMIC и Huawei, но издание Nikkei Asian Review на этой неделе сообщило, что к получившей поддержку государства инициативе присоединятся не только прочие партнёры Huawei, но и контрактный...